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苏州佳瑞气体系统有限公司

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氢气回收系统装置

工艺原理 

  三氯氢硅尾气中富含氢气、氯硅烷、氯化氢气体。气体组份相对稳定,一旦外漏极易污染环境,同时三氯氢硅可以空气中的微量水反应水解是SiO2和盐酸,加速阀门的损坏,影响现场装置和人员的安全。我公司开发的三氯氢硅尾气回收装置,能有效分离附加值高的氢气,并利用氯硅烷低沸点特性,回收氯硅烷。
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